アクセリス・テクノロジーズ 

アクセリス・テクノロジーズ(Axcelis Technologies, Inc.)は半導体チップ製造に使用されるイオン注入装置と他の加工機器の設計、製造及びサービスの提供を行う。【事業内容】同社はまた、中古ツール、スペアパーツ、機器のアップグレード、保守サービス、顧客トレーニングなどのアフターマーケット･ライフサイクル製品とサービスを提供する。同社はすべてのアプリケーション要件に対して高エネルギー、高電流、中電流の注入装置を提供する。同社のPurion XE高エネルギー･システムは、ラジオ周波数（RF）Linac高エネルギー、スポット･ビーム技術とPurionプラットフォームを組み合わせる。同社はまた、Purion M中電流システムを提供する。同社のPurion Mシステムは、ホット･シリコン･カーバイドなどの特殊用途にも差別化をもたらす。同社のPurion H高電流システムは、漏れ電流性能を含む将来のプロセス要件を満たす超低エネルギーアプリケーションに拡張可能である。