Lam Research 

Lam Research Corporation 是半导体制造设备领域的领先供应商，业务涵盖半导体处理设备的设计、生产、销售、维修及持续维护。这些尖端系统是制造集成电路的核心。公司的广泛产品目录涵盖了多种沉积技术：在钨金属化方面，提供可沉积保形薄膜的 ALTUS 系统；SABRE 产品在电化学沉积领域表现卓越，对于铜互连转换及实现铜大马士革工艺至关重要；SOLA 利用紫外热处理技术进行薄膜处理；VECTOR 则提供等离子体增强化学气相沉积 (CVD) 和原子层沉积 (ALD) 解决方案。此外，SPEED 通过其高密度等离子体 CVD 产品解决填充间隙 (gapfill) 应用，而 Striker 则专为介质薄膜的单片原子层沉积而设计。除沉积技术外，Lam Research 还提供全面的刻蚀工具系列：Flex 专为介质刻蚀应用设计，Kiyo 处理导体刻蚀工艺，Syndion 专注于硅通孔 (TSV) 刻蚀，Versys 金属产品用于金属刻蚀工艺。公司的产品还延伸至专业解决方案，如通过斜边清洗 (bevel cleaning) 提高芯片良率的 Coronus。针对各种晶圆清洗需求，Lam Research 提供包括 Da Vinci、DV-Prime、EOS 和 SP 系列在内的多条产品线。此外，Metryx 质量计量系统为半导体晶圆制造提供精确的在线质量测量能力。Lam Research 服务于全球半导体行业，其技术和服务遍布美国、中国、欧洲、日本、韩国、东南亚、台湾及其他国际市场。公司成立于 1980 年，总部位于加利福尼亚州弗里蒙特。