Lam Research 

Lam Research Corporation 设计、制造、销售、翻新和服务用于集成电路制造的半导体加工设备。该公司提供 ALTUS 系统，用于沉积用于钨金属化应用的符合性薄膜；SABRE 电化学沉积产品，用于提供铜大马士革制造的铜互连过渡；SOLA 紫外线热处理产品，用于薄膜处理；以及 VECTOR 等离子体增强 CVD ALD 产品。它还提供 SPEED gapfill 高密度等离子体化学气相沉积产品；以及 Striker 单晶片原子层沉积产品，用于电介质薄膜解决方案。此外，该公司还提供 Flex 用于电介质刻蚀应用；Kiyo 用于导体刻蚀应用；Syndion 用于通过硅通孔刻蚀应用；以及 Versys 金属产品用于金属刻蚀过程。此外，它提供 Coronus 倾斜清洁产品以提高芯片产量；Da Vinci、DV-Prime、EOS 和 SP 系列产品以满足各种晶圆清洁应用；以及 Metryx 质量计量系统，以实现半导体晶圆制造中的高精度在线质量测量。该公司将其产品和服务销售给美国、中国、欧洲、日本、韩国、东南亚、台湾及国际半导体行业。Lam Research Corporation 成立于 1980 年，总部位于加利福尼亚州弗里蒙特。