Lam Research 

Lam Research Corporation ist ein führender Anbieter von entscheidender Ausrüstung für die Halbleiterverarbeitung, einschließlich Design, Produktion, Vertrieb, Reparatur und kontinuierlicher Wartung. Diese hochentwickelten Systeme sind grundlegend für die Herstellung integrierter Schaltkreise. Das umfangreiche Produktportfolio des Unternehmens umfasst verschiedene Abscheidungstechnologien. Für die Wolfram-Metallisierung bietet das Unternehmen ALTUS-Systeme an, die konforme Schichten abscheiden. SABRE-Produkte zeichnen sich durch die elektrochemische Abscheidung aus, die für Kupfer-Interconnect-Übergänge entscheidend ist und die Kupfer-Damascene-Fertigung ermöglicht. SOLA nutzt ultraviolette thermische Prozesse für Schichtbehandlungen, während VECTOR Lösungen für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und die Atomlagenabscheidung (ALD) liefert. Darüber hinaus adressiert SPEED Gapfill-Anwendungen mit seinen High-Density-Plasma-CVD-Produkten, und Striker ist für die Single-Wafer-Atomlagenabscheidung von dielektrischen Schichten konzipiert. Über die Abscheidung hinaus bietet Lam Research eine umfassende Palette an Ätzwerkzeugen an. Flex ist für dielektrische Ätzanwendungen konzipiert, Kiyo übernimmt Leiterätzprozesse, Syndion spezialisiert sich auf das Through-Silicon-Via-Ätzen und Versys-Metallprodukte werden für Metallätzprozesse eingesetzt. Das Angebot des Unternehmens umfasst auch spezialisierte Lösungen wie Coronus, das den Die-Yield durch Bevel-Cleaning verbessert. Für verschiedene Wafer-Reinigungsanforderungen liefert Lam Research mehrere Produktlinien, darunter Da Vinci, DV-Prime, EOS und die SP-Serie. Zusätzlich bieten Metryx-Massenmetrologiesysteme präzise In-Line-Massenmesskapazitäten für die Halbleiter-Wafer-Fertigung. Lam Research bedient die globale Halbleiterindustrie und vertreibt seine Technologien und Dienstleistungen in den USA, China, Europa, Japan, Korea, Südostasien, Taiwan und anderen internationalen Märkten. Das Unternehmen wurde 1980 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Fremont, Kalifornien.