ラムリサーチ (Lam Research) 

Lam Researchは、集積回路の製造に使用される半導体処理装置の設計、製造、販売、再生、サービスを行っています。同社は、タングステン金属化アプリケーション用のコンフォーマルフィルムを堆積するためのALTUSシステム、銅ダマスカス製造を提供する銅相互接続遷移用のSABRE電気化学的堆積製品、フィルム処理用のSOLA紫外線熱処理製品、プラズマ強化CVD ALD製品のVECTORを提供しています。また、高密度プラズマ化学蒸気堆積製品のSPEED gapfillや、誘電体フィルムソリューション用の単一ウェーハ原子層堆積製品Strikerも提供しています。さらに、誘電体エッチングアプリケーション用のFlex、導体エッチングアプリケーション用のKiyo、シリコンを通るビアエッチングアプリケーション用のSyndion、金属エッチングプロセス用のVersys金属製品も提供しています。さらに、ダイの歩留まりを向上させるためのCoronusベベルクリーニング製品、さまざまなウェーハクリーニングアプリケーションに対応するためのDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズ製品、半導体ウェーハ製造における高精度なインライン質量測定のためのMetryx質量計測システムも提供しています。同社は、米国、中国、ヨーロッパ、日本、韓国、東南アジア、台湾、国際的に半導体業界に製品とサービスを販売しています。Lam Researchは1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。