ラムリサーチ (Lam Research) 

ラムリサーチ (Lam Research) は、半導体製造プロセスに不可欠な装置の設計、製造、販売、修理、および継続的なメンテナンスを包括的に提供する、半導体製造装置の主要サプライヤーです。これらの高度なシステムは、集積回路の製造において極めて重要な役割を果たします。同社の広範な製品カタログには、さまざまな成膜（デポジション）技術が含まれています。タングステン・メタライゼーション向けには、コンフォーマル膜を形成するALTUSシステムを提供しています。SABRE製品は、銅配線の相互接続や銅ダマシーン製造に不可欠な電気化学的堆積（ECD）において優れた性能を発揮します。SOLAは、膜処理のための紫外線熱処理を利用し、VECTORはプラズマ強化化学気相成長（PECVD）および原子層堆積（ALD）ソリューションを提供します。さらに、SPEEDは高密度プラズマCVD製品によりギャップフィル用途に対応し、Strikerは誘電体膜のシングルウェハ原子層堆積用に設計されています。成膜技術に加え、ラムリサーチ (Lam Research) は包括的なエッチング装置群も提供しています。Flexは誘電体エッチング用途向け、Kiyoは導体エッチングプロセス用、Syndionはシリコン貫通電極（TSV）エッチングを専門とし、Versysメタル製品は金属エッチングプロセスに使用されます。また、ベベル洗浄を通じてダイ・イールドを向上させるCoronusのような特化型ソリューションも展開しています。さまざまなウェハ洗浄のニーズに対し、ラムリサーチ (Lam Research) はDa Vinci、DV-Prime、EOS、SPシリーズを含む複数の製品ラインを供給しています。さらに、Metryxマス・メトロロジー・システムは、半導体ウェハ製造における精密なインライン質量測定機能を提供します。ラムリサーチ (Lam Research) は、米国、中国、欧州、日本、韓国、東南アジア、台湾、およびその他の国際市場を通じて、その技術とサービスを世界の半導体業界に提供しています。1980年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。