램리서치 (Lam Research)는 반도체 공정에 필수적인 장비의 설계, 생산, 판매, 수리 및 지속적인 유지보수를 아우르는 주요 공급업체입니다. 이러한 정교한 시스템은 집적 회로 제조의 핵심입니다. 회사의 광범위한 제품 카탈로그에는 다양한 증착(deposition) 기술이 포함되어 있습니다. 텅스텐 금속화(tungsten metallization)를 위해 등각 박막을 증착하는 ALTUS 시스템을 제공하며, SABRE 제품은 구리 상호 연결 전환에 필수적이고 구리 다마신(copper damascene) 제조를 가능하게 하는 전기화학 증착 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다. SOLA는 박막 처리를 위해 자외선 열처리를 활용하며, VECTOR는 플라즈마 강화 화학 기상 증착(CVD) 및 원자층 증착(ALD) 솔루션을 제공합니다. 또한, SPEED는 고밀도 플라즈마 CVD 제품으로 갭필(gapfill) 애플리케이션을 처리하며, Striker는 유전체 박막의 싱글 웨이퍼 원자층 증착을 위해 설계되었습니다. 증착 외에도 램리서치 (Lam Research)는 종합적인 식각(etching) 도구 제품군을 제공합니다. Flex는 유전체 식각 애플리케이션용으로 설계되었고, Kiyo는 도체 식각 공정을 담당하며, Syndion은 관통 실리콘 비아(TSV) 식각을 전문으로 하고, Versys 금속 제품은 금속 식각 공정에 사용됩니다. 또한, 베벨 클리닝(bevel cleaning)을 통해 다이 수율을 높이는 Coronus와 같은 특화된 솔루션도 제공합니다. 다양한 웨이퍼 세정 요구 사항을 위해 램리서치 (Lam Research)는 Da Vinci, DV-Prime, EOS 및 SP 시리즈를 포함한 여러 제품 라인을 공급합니다. 아울러, Metryx 질량 계측 시스템은 반도체 웨이퍼 제조를 위한 정밀한 인라인 질량 측정 기능을 제공합니다. 램리서치 (Lam Research)는 미국, 중국, 유럽, 일본, 한국, 동남아시아, 대만 및 기타 국제 시장에 기술과 서비스를 배포하며 글로벌 반도체 산업에 기여하고 있습니다. 1980년에 설립된 이 회사의 본사는 캘리포니아주 프리몬트에 위치해 있습니다.