Lam Research 

Lam Research Corporation är en framstående leverantör av utrustning som är avgörande för halvledarprocesser, vilket omfattar design, produktion, försäljning, reparation och löpande underhåll. Dessa sofistikerade system är fundamentala för tillverkningen av integrerade kretsar. Företagets omfattande produktkatalog innehåller en mängd olika depositionstekniker. För tungsten-metallisering tillhandahåller de ALTUS-system som deponerar konforma filmer. SABRE-produkter utmärker sig inom elektrokemisk deposition, vilket är avgörande för övergångar i koppar-interconnects och möjliggör tillverkning av koppar-damascene. SOLA använder ultraviolett termisk bearbetning för filmbehandlingar, medan VECTOR levererar lösningar för plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (CVD) och atomic layer deposition (ALD). Vidare adresserar SPEED gapfill-applikationer med sina högdensitets-plasma CVD-produkter, och Striker är konstruerad för single-wafer atomic layer deposition av dielektriska filmer. Utöver deposition erbjuder Lam Research en omfattande uppsättning etsningsverktyg. Flex är designad för dielektriska etsningsapplikationer, Kiyo hanterar etsningsprocesser för ledare, Syndion specialiserar sig på through-silicon via-etsning, och Versys metallprodukter används för metall-etsningsprocesser. Företagets utbud sträcker sig även till specialiserade lösningar som Coronus, som förbättrar die-utbytet genom bevel-rengöring. För olika krav på wafer-rengöring levererar Lam Research flera produktlinjer, inklusive Da Vinci, DV-Prime, EOS och SP-serien. Dessutom erbjuder Metryx massmetrologisystem precisa in-line massmätningsegenskaper för halvledarwafer-tillverkning. Lam Research betjänar den globala halvledarindustrin och distribuerar sina teknologier och tjänster i USA, Kina, Europa, Japan, Korea, Sydostasien, Taiwan och andra internationella marknader. Företaget grundades 1980 och har sitt huvudkontor i Fremont, Kalifornien.