ACM Research 

ACM Research, Inc. entwickelt, fertigt und vertreibt zusammen mit seinen Tochtergesellschaften Kapitalausrüstung in Festlandchina und international. Das Unternehmen entwickelt, fertigt und vertreibt zudem eine Reihe von Packaging-Tools für Kunden in der Wafer-Assemblierung und im Packaging. Das Unternehmen bietet Reinigungsanlagen für Nassreinigungsprozesse in der Front-End-Produktion; elektrochemische Galvanik-, Ofen-, PECVD- und Track-Plattformen; Space Alternated Phase Shift (SAPS), eine Technologie für flache und Wafer-Oberflächen; Timely Energized Bubble Oscillation (TEBO), eine Technologie für gemusterte Wafer-Oberflächen bei fortschrittlichen Prozessknoten; sowie Tahoe-Technologie und semi-kritische Reinigungswerkzeuge. Es bietet außerdem fortschrittliche Packaging-Ausrüstung an, wie Coater, Developer, Photoresist-Stripper, Scrubber, Nassätzer und Kupfergalvanik-Anlagen. Zu den Produkten für das Advanced Packaging gehören: Ultra ECP ap, das vor dem Packaging eine gleichmäßige Metallschicht auf die fertigen Wafer aufträgt; Ultra C Developer, der flüssigen Entwickler auf ausgewählte Teile des Photoresists aufträgt, um ein Bild aufzulösen; Ultra C PR Megasonic-Assisted Stripper, der Photoresist entfernt; Ultra C Scrubber, der Wafer schrubbt und reinigt; Ultra C Thin Wafer Scrubber, der auf einen Teilmarkt für die Reinigung sehr dünner Wafer in bestimmten asiatischen Montagefabriken spezialisiert ist; und Ultra C Wet Etcher, der Siliziumwafer sowie Kupfer- und Titan-Interconnects ätzt. Darüber hinaus bietet das Unternehmen ECP-Technologie für fortschrittliche Metallgalvanik; Ultra fn Furnace, ein Trockenbearbeitungswerkzeug; Ultra Pmax PECVD-Tools, bestehend aus einer proprietär entwickelten Kammer, Gasverteilungseinheit und Chuck; sowie Ultra Track, ein 300mm-Prozesswerkzeug, das einen gleichmäßigen Luftabwärtsstrom, schnelle Roboterhandhabung und konfigurierbare Software zur Erfüllung spezifischer Kundenanforderungen bietet. Das Unternehmen vermarktet und verkauft seine Produkte unter den Marken SAPS, TEBO, ULTRA C, ULTRA Fn, Ultra ECP, Ultra ECP map und Ultra ECP ap über einen direkten Vertrieb und Drittvertreter. ACM Research, Inc. wurde 1998 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Fremont, Kalifornien.