ACMリサーチ (ACM Research) 

ACM Research, Inc.は、子会社とともに、中国本土および国際的に資本設備を開発、製造、販売しています。また、ウェーハのアセンブリおよびパッケージング顧客向けに、一連のパッケージングツールも開発、製造、販売しています。同社は、フロントエンド製造プロセス用のウェット洗浄装置、電気化学めっき、炉、PECVD、トラックプラットフォーム、フラットおよびウェーハ表面用のSpace Alternated Phase Shift技術、高度なプロセスノードにおけるパターン化されたウェーハ表面用のTimely Energized Bubble Oscillation技術、Tahoe技術、およびセミクリティカル洗浄ツールを提供しています。さらに、コーター、デベロッパー、フォトレジストストリッパー、スクラバー、ウェットエッチャー、銅めっき装置などの高度なパッケージング装置も提供しており、高度なパッケージング製品には以下が含まれます：パッケージング前の完成ウェーハに均一な金属層を形成するUltra ECP ap、フォトレジストの特定部分に液体現像液を塗布して画像を形成するUltra C Developer、フォトレジストを除去するUltra C PR Megasonic-Assisted Stripper、ウェーハを洗浄するUltra C Scrubber、アジアの一部の組立工場向けに非常に薄いウェーハの洗浄に対応するUltra C Thin Wafer Scrubber、およびシリコンウェーハ、銅、チタンの相互接続部をエッチングするUltra C Wet Etcherがあります。加えて、高度な金属めっき用のECP技術、ドライプロセスツールであるUltra fn Furnace、独自のチャンバー、ガス分配ユニット、チャックを備えたUltra Pmax PECVDツール、および均一なダウンフロー、高速ロボットハンドリング、顧客の特定の要件に対応する構成可能なソフトウェアを備えた300mmプロセスツールであるUltra Trackを提供しています。同社は、SAPS、TEBO、ULTRA C、ULTRA Fn、Ultra ECP、Ultra ECP map、およびUltra ECP apの商標の下、直販部および代理店を通じて製品を販売しています。ACM Research, Inc.は1998年に設立され、カリフォルニア州フリーモントに本社を置いています。