ACMリサーチ
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ACMリサ―チ(ACM Research, Inc.)は、統合チップの製造プロセスで使用される枚葉式ウェットクリーニング装置を開発・製造・販売する。【事業内容】空間交互位相シフト(SAPS)及びタイムリーな通電気泡振動(TEBO)テクノロジーに基づき、「Ultra C」のブランド名で枚葉式ウェットクリーニング装置を販売する。ツールは、ウェーハとその機能に損傷を与えることなく、ウェーハ表面からランダムな欠陥を効率的に除去するように設計される。製品は、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)や3D NANDフラッシュメモリチップなど、ファウンドリ、ロジック、メモリチップの製造に使用するために設計される。また、ウェーハアセンブリ及びパッケージングの顧客向けに、多様なパッケージングツールを開発・製造・販売する。
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